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产品中文名称：砷化氢
产品英文名称：Arsine
CAS号：7784-42-1
产品介绍：砷化氢又称砷化三氢、砷烷、胂，是简单的砷化合物。化学式AsH3，为无色气体，有剧毒，本身无臭，但空气中砷化氢浓度超过0.5×10-6时，可被空气氧化产生轻微类似大蒜的气味。高纯砷烷用于半导体工业中，如外延硅的N型掺杂、硅中N型扩散、离子注入、生长砷化镓（GaAs）、磷砷化镓（GaAsP）以及与某些元素形成化合物半导体。