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产品中文名称：磷化氢
产品英文名称：Phosphine
CAS号：7803-51-2
产品介绍：磷化氢，是一种无机化合物，化学式为PH3，是一种无色、剧毒、易燃的储存于钢瓶内的液化压缩气体。纯净的磷化氢气体是无色无味的，但在金属磷化物产生磷化氢气体时常带有乙炔味或者大蒜味或者腐鱼味。用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。