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产品中文名称：三氯化硼
产品英文名称：Boron trichloride
CAS号:10294-34-5
产品介绍：三氯化硼，分子式为BCl3。无色带有强烈臭味的液体。比空气重，在空气中不燃烧，在潮湿空气中发烟。高纯三氯化硼主要用于半导体器件制造工艺中的等离子干刻、扩散掺杂等。