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产品中文名称：六氟乙烷
产品英文名称：Hexafluoroethane
CAS号：76-16-4
产品介绍：六氟乙烷，又称全氟乙烷，分子式为C2F6,是一种有机化合物，是乙烷中六个氢原子全部被氟原子取代后的产物，常温常压下为无色气体，主要用作半导体等离子蚀刻剂、高介电强度冷却剂等。